我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质财联社月日电中国计量科学研究院的纳米线宽标准物质研制团队以国际计量局规定的国际单位制米定义复现方法硅晶格方向尺寸为基础采用内禀硅晶格原子标尺的线...