ASML，今年卖了多少光刻机？

摘要： 每天更新最新的消息和赛事信息谢谢您的关注第二轮的赛事已经全部结束除了天津男篮和广州男篮的比赛延期外其他比赛都已经分出了胜负前两轮比赛过后辽宁男篮青岛男篮山西男文半导体产业纵横作者九...

每天更新最新的CBA消息和赛事信息，谢谢您的关注！ CBA第二轮的赛事已经全部结束，除了天津男篮和广州男篮的比赛延期外，其他比赛都已经分出了胜负。前两轮比赛过后，辽宁男篮、青岛男篮、山西男....

文 | 半导体产业纵横，作者 |九林

1984年4月1日愚人节这一天，飞利浦和跟荷兰的一家小公司合资，成了一家新公司。新公司的缩写叫ALS，跟渐冻症的缩写是一样的。一直到1996年，这家公司改名叫A L。

也就是现在，大名鼎鼎的A L。

今年，A L的High NA EUV光刻机成为设备新晋“顶流”。其数值孔径（NA）从之前标准 EUV 光刻机的 0.33 提升到了 0.55 ，镜头的分辨率从之前的13 nm提升到了 8 nm，能够实现2nm以下先进制程大规模量产。英特尔、台积电、三星哪怕豪侈巨资也要拿下。

A L光刻巨头的生意风生水起，今年A L又卖了多少台光刻机？

01 A L有哪些光刻机？

想要知道A L究竟卖了多少光刻机，首先要简单了解一下这个光刻巨头到底造了哪些类型的光刻设备。

A L的成长史，可以说是光刻机迭代史。

PAS 2000、PAS 2500的起步阶段

我们回到最初的1984年，新生的A L呱呱坠地。当时A L的产品只有16台飞利浦当作库存的PAS 2000。但这款光刻机采用油压传动台，有着巨大的缺陷，没有客户看得上。

在发现了PAS 2000问题后，A L决定开发新一代采用电动晶圆台的光刻机，型号PAS 2500。1986年推出 棒的第二代产品PAS 2500，并 次卖给美国当时的创业公司赛普拉斯（Cypress）。

1988年，飞利浦将MEGA生产线搬到了，结果突发一场火灾。于是台积电想A L采购了17台PAS 2500，成为了A L的最大客户。正是因为这些订单，AMSL终于开始盈利了。

PAS 5500，一战成名

PAS 5500是A L的成名之战，1991年发布，能够实现扫描式光刻。这时候IBM宣布将成为 家在8英寸晶圆上制造芯片的公司。PAS 5500通过了IBM的产业验证，实现了小批量交付。

PAS 5500按照模块化设计，客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C等等等，涵盖了各种光源（i线和KrF），各种尺寸（4-12英寸），各种镜头（i线和KrF镜头），各种投影模式（stepper/scanner）。

这就使得一台设备能够实现百花齐放。

PAS 5500的战绩不止于IBM，三星装机 台PAS 5500后生产出了250nm工艺的16Mb存储器。SK 海力士在1996年装机后，1998年直接成为了AMSL的最大客户。

TWINSCAN 和浸没式技术

时间来到了1990年代末，光刻机的波长也从248nm进入到193nm，这就是著名的ArF准分子激光器。

产业在193nm波长上卡了近20年。干式193nm光刻机的极限工艺是65nm，再往下就很难实现了。产业内提出了各种超越193nm的方案，相对而言157nm技术难度稍低。这时候，AMSL收购了美国光刻机厂商 G，储备了157nm和EUV光刻机。

直到2002年，在157nm技术研讨会上，台积电的林本坚提出了浸没光刻技术，找到了134nm波长，一石激起千层浪。

虽然浸入式光刻机的构思 巧妙，但从工程角度看，它并不难完成。A L很快就按照设计制造出了134纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i 。

2006年A L推出了 台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008年又推出了TWINSCAN NXT:1950i可用于32纳米芯片的量产，并迅速推动A L开发出一系列用于亚32纳米制程节点的光刻系统，包括NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i等。

改变时代的EUV

为了巩固地位，AMSL在开发浸入式光刻机的同时，就已经向极紫外光源发起挑战。它摸索出了一种新的EUV产生方法：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而产生EUV。基于这个方法，A L于2010年推出了 台EUV样机。

不过，将样机变为可以销售的商品还需要很多投入，预期的投入可能达到每年10亿欧元，以A L的财力并没有能力独自完成这一切。为了 这个问题，它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于，在2013年，量产的EUV光刻机NEX:3300B面世了——也就在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的领导权。

之后，AMSL于2017年推出了TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的制程（即最小的电路栅格间距离）从7纳米推到了5纳米。2020年初，AMSL发货了第100台EUV光刻机。

再到2023年，再次推出了High NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5000。从AMSL的路线图来看，在2025年还要推出将新一代High-NA EUV系统EXE:5200。

02 A L卖了多少光刻机？

笔者翻阅A L财报，整理了其自2012年开始的出货数据。A L出货与其不断成长的光刻历程息息相关。

DUV光刻机，出货量的主力军

A L 2012-2023光刻机出货量（左右滑动查看全部列表）

如果按照光源类型划分，不仅有EUV光刻机，还有ArF浸入式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设备等。其中，ArF、ArF和KrF都属于深紫外线光刻机(DUV)，这也是当前半导体制造的主力。从2012年到2023年，A L出货量2235台DUV光刻机。

从2012年的出货量来看，ArFi和KrF等深紫外线光刻机(DUV)出货量远超EUV光刻机。毕竟，如前文锁述，能够量产的EUV也是在2013年才正式亮相。从上图来看，ArFi出货数量一直保持在70-80台左右，但2023年出现了暴涨，直接出货125台。KrF出货量原先也一直维持在70左右，但从2020年开始每年增长近30台左右。

2020、2023这两个时间节点大家都不陌生。在2023年末，荷兰和美国 颁布的出口管制法规已经生效。当时阿斯麦首席财务官Roger Dassen表示：“2024年我们将不会获得向中国发运NXT:2000i及以上浸润式设备的出口许可证，此外，个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i和NXT:1980i浸润式设备的许可证。”

2023年，A L卖了449台光刻机，其中有53台是EUV光刻机，396台是DUV光刻机。2023年DUV光刻机的出货量，很大一部分来自于中国市场。

EUV光刻机，转折点在2022

A L 2012-2023 光刻机净销售额（单位：亿欧元）

从2012年-2023年，AMSL一共出货了233台EUV光刻机。百位数的EUV光刻机的出货量对比千位数的DUV光刻机。可以说，出货数量少的可怜，但架不住EUV高昂的价格。A L 目前在售的双工件台 EUV 光刻机单价约 1.2 亿美元至 1.5 亿美元左右。而其新一代高 NA EUV 光刻机造价更是高达 3 亿至 3.5 亿欧元（约合人民币 21.95 亿至 25.61 亿元）。

从上图来看，自2019年开始，A L的EUV光刻机销售额出现了较大的增长，而自2020年销售额达到44亿欧元后，直接超过了当年的ArFi光刻机的销售额（40亿欧元）。从此之后，EUV光刻机的销售额就一骑绝尘。即使2023年，ArFi光刻机出货数量爆增到125台，卖出的价格也只有86亿欧元。EUV光刻机的总销售额还超过其5个亿欧元。

地区营收，谁购买了最多的光刻机？

A L 地区出货销售额（单位：亿欧元）（左右滑动查看全部列表）

2012年开始，韩国、中国 地区、美国对于A L光刻机的购买力是比较强的。当时中国大陆被列为亚洲其他地区，进而计算销售额。自2015年后，由于中国大陆购买金额增长，被A L财报再单拎出来，以上2015年后的亚洲其他地区数据实际为中国大陆的数据。

上图中，中国 地区对于光刻机的购买需求始终旺盛，基本是占了大头。但也不难理解，台积电作为全球 的晶圆大厂，其资本支出一直是顶尖的。可以看到，从2019年到2020年，A L对中国 的销售额有明显上涨。对比当时的历史来看，这个是节点台积电正开始量产7nm+制程（也就是EUV 版的 7nm），因此销售金额增长不足为奇。

韩国的光刻机购买金额，从2018年到2019年有一个巨大的下滑，但需要注意的是，其2017年、2018年的金额达到30亿欧元，相较之前15亿欧元翻了一倍。2019年正是上一个

中国大陆地区对于光刻机的购买金额一直维持在20亿欧元左右，但2023年暴涨了61亿欧元，再次印证了前文所述，大陆只能在禁令下来前，现行购买部分光刻机。

03 2024年，A L又卖了多少台光刻机？

看完了A L前十二年的回顾，我们来仔细看看，在禁令实施的 年，A L卖的如何吧。

从地区来看，日本 季度没有购买、欧洲第三季度也没有购买。值得注意的是，韩国今年依旧花了近30亿欧元购买光刻机，但原本一直占销售大头的中国 刚刚花了16亿欧元。同时，大陆的购买力也 强，相比去年全年的61亿欧元，今年才三个季度，已经在A L这里购买了70亿欧元的设备了。如果大陆Q4稳定按照20亿欧元的购买力度，那今年中国大陆的销售额会再创新高，甚至达到90亿欧元。

在A L公布2023年全年财报时，也对2024年的业绩做出了预测。认为 2024 年的净销售额将与2023年基本持平，而A L 2023全年净销售额是276亿欧元。按照276亿欧元计算，今年中国市场将占A L业绩的三分之一。